Die Befreiung der Stromsteuer muss nur einmal beantragt werden, möglichst vor Beginn der Inbetriebnahme. Ist sie genehmigt, müssen Betreiber für die befreiten Mengen keine Stromsteuer entrichten. Befreite Mengen sind:

• Strom, der für den Selbstverbrauch entnommen wird
• Strom zur Stromerzeugung
• Lieferung an Dritte (bei Anlagen mit einer Nennleistung kleiner 2 MW)  

Nun ist es aber nicht immer so, dass die Befreiung rechtzeitig beantragt oder genehmigt wird. Hat ein Betreiber Stromsteuer für eine Strommenge entrichtet, die befreit werden kann, so kann er eine Entlastung für diese Strommengen beantragen. Wird diese Entlastung genehmigt, erhält der Betreiber die zuvor errichtete Stromsteuer zurück.